近日，加拿大著名等离子体物理专家McMaster大学张仁仕教授来我院访问。在访问期间，张教授与我院相关科研人员座谈，介绍了自己在等离子体用于水、气处理方面的研究所取得的进展，听取了我院该研究领域负责人的汇报，并对与我院合作进行半导体工业废气处理研究工作的事宜进行研讨。临行前，张教授赠送给我院一套等离子体废气处理反应室，为我院在开展半导体工业废气处理研究工作上提供了重要的技术支持和设备保障。